As erdieroaleeta teknologia mikroelektronikoak errendimendu handiagoa eta integrazio handiagorantz garatzen dira, gas berezi elektronikoen purutasunari baldintza handiagoak ezartzen zaizkio. Garbitasun handiko gas hodien teknologia purutasun handiko gas hornidura sistemaren zati garrantzitsu bat da. Garbitasun handiko gasak emateko funtsezko teknologia da, gasa erabiltzeko puntuetara baldintzak betetzen dituztenak kalitate kualifikatua mantenduz.
Garbitasun handiko kanalizazioen teknologiak sistemaren diseinu zuzena, hodiak eta material osagarriak hautatzea, eraikuntza eta instalazioa eta probak barne hartzen ditu.
01Gasa garraiatzeko hodien kontzeptu orokorra
Garbitasun handiko eta garbitasun handiko gas guztiak gas terminalera garraiatu behar dira kanalizazioen bidez. Gasaren prozesu-kalitate-baldintzak betetzeko, gas-esportazio-indizea ziur dagoenean, beharrezkoa da hoditeria-sistemaren materialen hautaketari eta eraikuntza-kalitateari arreta jartzea. Gasa ekoizteko edo arazteko ekipoen zehaztasunaz gain, hodi-sistemaren faktore askok eragiten dute neurri handi batean. Hori dela eta, hodien aukeraketak arazketa-industriaren printzipioak bete behar ditu eta hodien materiala marrazkietan markatu behar du.
02Gasaren garraioan purutasun handiko hodiek duten garrantzia
Garbitasun handiko kanalizazioen garrantzia purutasun handiko gas-garraioan Altzairu herdoilgaitzezko galdaketa-prozesuan, tona bakoitzak 200 g gas inguru xurga ditzake. Altzairu herdoilgaitza prozesatu ondoren, bere gainazalean hainbat kutsatzaile itsatsita ez ezik, gas kopuru bat xurgatzen da bere metalezko sarean. Hodietatik aire-fluxua igarotzen denean, metalak xurgatzen duen gasaren zatia berriro sartuko da aire-fluxuan eta gas purua kutsatuko du.
Hodiaren aire-fluxua etena denean, hodiak presio-adsortzioa sortzen du igarotzen den gasaren gainean. Aire-fluxua igarotzeari uzten dionean, hodiak xurgatutako gasak presioa murrizteko analisia egiten du, eta analizatutako gasa hodiko gas puruan sartzen da ezpurutasun gisa.
Aldi berean, adsortzio- eta analisi-zikloak hodiaren barruko gainazaleko metalak hauts kopuru jakin bat sortuko du. Metalezko hauts-partikula honek hodiko gas purua ere kutsatzen du. Hodiaren ezaugarri hau oso garrantzitsua da. Garraiatutako gasaren garbitasuna bermatzeko, hodiaren barruko gainazalak oso leuntasun handia izateaz gain, higadura-erresistentzia handia izan behar du.
Gasak propietate korrosibo handiak dituenean, korrosioarekiko erresistenteak diren altzairu herdoilgaitzezko hodiak erabili behar dira hodietarako. Bestela, korrosio-orbanak agertuko dira hodiaren barruko gainazalean, korrosioaren ondorioz. Kasu larrietan, metal zati handiak zuritu edo zulatu egingo dira, eta horrela garraiatzen den gas purua kutsatuko da.
03Hodiaren materiala
Hodiaren material aukeraketa erabilera beharren arabera hautatu behar da. Hodiaren kalitatea, oro har, hodiaren barruko gainazalaren zimurtasunaren arabera neurtzen da. Zenbat eta zimurtasun txikiagoa izan, orduan eta probabilitate txikiagoa izango da partikulak eramateko. Orokorrean hiru motatan banatuta:
Bat daEP graduko 316L hodia, elektrolitikoki leundu dena (Electro-Polish). Korrosioarekiko erresistentea da eta gainazaleko zimurtasun txikia du. Rmax (gailurra haranaren altuera maximoa) 0,3μm edo gutxiagokoa da. Lautasun handiena du eta ez da erraza mikro-korronte ertainak sortzea. Kendu kutsatutako partikulak. Prozesuan erabilitako erreakzio-gasa maila honetan kanalizatu behar da.
Bata daBA 316L graduahodia, Bright Anneal-ek tratatu duena eta txiparekin kontaktuan dauden baina prozesuko erreakzioan parte hartzen ez duten gasetarako erabiltzen dena, hala nola GN2 eta CDA. Bata AP hodia (Annealing & Picking) da, bereziki tratatua ez dena eta, oro har, gas hornidura-lerro gisa erabiltzen ez diren kanpoko hodi multzo bikoitzetarako erabiltzen da.
04 Kanalizazioa eraikitzea
Hodiaren ahoaren prozesamendua eraikuntza-teknologia honen funtsezko puntuetako bat da. Hodiaren ebaketa eta aurrefabrikazioa ingurune garbian egiten dira, eta, aldi berean, hodiaren gainazalean marka kaltegarririk edo kalterik ez dagoela ziurtatzen da ebaki aurretik. Hodietan nitrogenoa garbitzeko prestaketak egin behar dira hoditeria ireki aurretik. Printzipioz, soldadura garbitasun handiko eta garbitasun handiko gasa garraiatzeko eta banatzeko hodiak fluxu handiarekin lotzeko erabiltzen da, baina ez da zuzeneko soldadura onartzen. Karkasa-junturak erabili behar dira, eta erabilitako hodi-materialak soldatzean egituran aldaketarik ez izatea eskatzen du. Karbono-eduki handiegia duen materiala soldatzen bada, soldadura-zatiaren airearen iragazkortasunak hodiaren barruko eta kanpoaldeko gasa elkarren artean sartzea eragingo du, garraiatzeko gasaren garbitasuna, lehortasuna eta garbitasuna suntsituz, eta horrek ondorio larriak ekarriko ditu. eta ekoizpen-kalitateari eragiten dio.
Laburbilduz, purutasun handiko gasa eta gasa garraiatzeko kanalizazio berezietarako, bereziki tratatutako purutasun handiko altzairu herdoilgaitzezko hodi bat erabili behar da, eta horrek purutasun handiko kanalizazio sistemak (hodiak, hodiak, balbulak, VMB, VMP barne) hartzen ditu. Garbitasun handiko gasaren banaketan ezinbesteko eginkizuna.
Argitalpenaren ordua: 2024-11-26